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序號 氣體種類 英文名 包裝
1 液氮 LIN 杜瓦/槽車
2 液氧 Lox 杜瓦/槽車
3 液氬 Lar 杜瓦/槽車
4 高純氧/氮/氬/氫 High Purity Oxygen/Nitrogen/Hydrogen 40L/50L(氣瓶)
5 高純氬氣 High Purity Argon 40L/50L(氣瓶)
6 超純氦氣 Super pure helium 40L/50L(氣瓶)
7 超純氬氣 Ultra-pure Argon 40L/50L(氣瓶)
8 氧氦混合 0.5%O2/He 47L
9 四氟化碳 CF4 40L
10 三氟甲烷 CHF3 47L
11 六氟化硫 SF6 47L
12 氦氮混合 1.2%He/N2 MIXER / 47L
13 氬氙氖混合 3.5%Ar/Xe/Ne 47L
14 氪氖混合 1.25%Kr/Ne 49L
15 甲烷氬混 4%CH4/Ar 40L
16 氫氦混合 5%H2/He 47L
17 八氟環(huán)丁烷 C4F8 47L
18 二氧化硫 SO2 10L
19 氟氬氖混合 0.95%F2/Ar/Ne 47L
20 氟氪氖混合 0.95%F2/Kr/Ne 47L
21 氯氣 CL2 44L / 47L
22 氟氮混合 20%F2/N2 47L
23 硼烷氬氣混合 5%B2H6/Ar 44L
24 溴化氫 HBr 47L
25 丙烯 C3H6 47L
26 甲烷氬氣混合 10%CH4/Ar 40L
27 二氟甲烷 CH2F2 17L /10L /46L
28 一氟甲烷 CH3F 10L / 7L
29 六氟丁二烯 C4F6 40L
30 二氯二氫硅 SiH2CL2 47L
31 四氟化碳 CH4 44L
32 一氧化碳 CO 40L / 47L
33 鍺烷氫氣混合 10%GeH4/H2 47L
34 乙硼烷氫氣混合 1%B2H6/H2 47L
35 氫氮氣混合 10%H2/N2 MIXER
36 磷化氫/氫氣混合氣 PH3/H2 47L
37 氯化硼 BCL3 44L
38 氫氟酸 HF 10L / 7L
39 四氯化硅 SiCL4 10L
40 硅烷 SiH4 Y-Cylinder / 47L
41 氯化氫 HCL Y-Cylinder
42 氨氣 NH3 44L
43 笑氣 N2O Y-Cylinder
44 二氧化碳 CO2 Y-Cylinder / ISO Tank / 44L
45 乙硅烷 Si2H6 10L
46 磷化氫/氦氣混合氣 0.8%PH3/He 47L
47 甲硅烷/氦氣混合氣 20%SiH4/He 47L
48 三氟化氯 CLF3 40L
49 一氧化氮 NO 44L
50 四氟化硅 SiF4 44L / SDS
51 六氟化鎢 WF6 10L
52 三氟化氮 NF3 47L
53 二氯硅烷 SiH2CL2 40L
54 氙氣 Xe 1L
55 六氟乙烷 C2F6 44L
56 氦氣/氮氣混合氣 10%He/N2 47L
57 全氟丙烷 C3F8 44L
58 砷化氫 ASH3 SDS
59 三氟化硼/氫氣混合氣 BF3/H2 SDS
60 磷化氫 PH3 SDS
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聯(lián)系人:沈先生
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