序號 | 氣體種類 | 英文名 | 包裝 |
1 | 液氮 | LIN | 杜瓦/槽車 |
2 | 液氧 | Lox | 杜瓦/槽車 |
3 | 液氬 | Lar | 杜瓦/槽車 |
4 | 高純氧/氮/氬/氫 | High Purity Oxygen/Nitrogen/Hydrogen | 40L/50L(氣瓶) |
5 | 高純氬氣 | High Purity Argon | 40L/50L(氣瓶) |
6 | 超純氦氣 | Super pure helium | 40L/50L(氣瓶) |
7 | 超純氬氣 | Ultra-pure Argon | 40L/50L(氣瓶) |
8 | 氧氦混合 | 0.5%O2/He | 47L |
9 | 四氟化碳 | CF4 | 40L |
10 | 三氟甲烷 | CHF3 | 47L |
11 | 六氟化硫 | SF6 | 47L |
12 | 氦氮混合 | 1.2%He/N2 | MIXER / 47L |
13 | 氬氙氖混合 | 3.5%Ar/Xe/Ne | 47L |
14 | 氪氖混合 | 1.25%Kr/Ne | 49L |
15 | 甲烷氬混 | 4%CH4/Ar | 40L |
16 | 氫氦混合 | 5%H2/He | 47L |
17 | 八氟環(huán)丁烷 | C4F8 | 47L |
18 | 二氧化硫 | SO2 | 10L |
19 | 氟氬氖混合 | 0.95%F2/Ar/Ne | 47L |
20 | 氟氪氖混合 | 0.95%F2/Kr/Ne | 47L |
21 | 氯氣 | CL2 | 44L / 47L |
22 | 氟氮混合 | 20%F2/N2 | 47L |
23 | 硼烷氬氣混合 | 5%B2H6/Ar | 44L |
24 | 溴化氫 | HBr | 47L |
25 | 丙烯 | C3H6 | 47L |
26 | 甲烷氬氣混合 | 10%CH4/Ar | 40L |
27 | 二氟甲烷 | CH2F2 | 17L /10L /46L |
28 | 一氟甲烷 | CH3F | 10L / 7L |
29 | 六氟丁二烯 | C4F6 | 40L |
30 | 二氯二氫硅 | SiH2CL2 | 47L |
31 | 四氟化碳 | CH4 | 44L |
32 | 一氧化碳 | CO | 40L / 47L |
33 | 鍺烷氫氣混合 | 10%GeH4/H2 | 47L |
34 | 乙硼烷氫氣混合 | 1%B2H6/H2 | 47L |
35 | 氫氮氣混合 | 10%H2/N2 | MIXER |
36 | 磷化氫/氫氣混合氣 | PH3/H2 | 47L |
37 | 氯化硼 | BCL3 | 44L |
38 | 氫氟酸 | HF | 10L / 7L |
39 | 四氯化硅 | SiCL4 | 10L |
40 | 硅烷 | SiH4 | Y-Cylinder / 47L |
41 | 氯化氫 | HCL | Y-Cylinder |
42 | 氨氣 | NH3 | 44L |
43 | 笑氣 | N2O | Y-Cylinder |
44 | 二氧化碳 | CO2 | Y-Cylinder / ISO Tank / 44L |
45 | 乙硅烷 | Si2H6 | 10L |
46 | 磷化氫/氦氣混合氣 | 0.8%PH3/He | 47L |
47 | 甲硅烷/氦氣混合氣 | 20%SiH4/He | 47L |
48 | 三氟化氯 | CLF3 | 40L |
49 | 一氧化氮 | NO | 44L |
50 | 四氟化硅 | SiF4 | 44L / SDS |
51 | 六氟化鎢 | WF6 | 10L |
52 | 三氟化氮 | NF3 | 47L |
53 | 二氯硅烷 | SiH2CL2 | 40L |
54 | 氙氣 | Xe | 1L |
55 | 六氟乙烷 | C2F6 | 44L |
56 | 氦氣/氮氣混合氣 | 10%He/N2 | 47L |
57 | 全氟丙烷 | C3F8 | 44L |
58 | 砷化氫 | ASH3 | SDS |
59 | 三氟化硼/氫氣混合氣 | BF3/H2 | SDS |
60 | 磷化氫 | PH3 | SDS |