分子式：Ar含量： | 99.99% | 99.999% | 99.9999% |
CAS NO:7440-37-1 包裝：鋼瓶
用途：氬氣是工業(yè)上應(yīng)用很廣的稀有氣體。氬作為焊接保護氣是最常見的應(yīng)用，主要應(yīng)用于金屬冶煉、金屬加工、電子半導體、照明、飛機制造、石油化工等。高純氬氣用于色譜儀的載氣；超純氬氣用于電子行業(yè)制造，半導體材料和器件生產(chǎn)，尤其是制造大規(guī)模集成電路、半導體制造工藝中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等作為稀釋氣、運載氣、保護氣、濺射氣和激光混合氣。以及用于標準氣、平衡氣、零點氣等
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